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        案例

        英鉑科學攜MPI助中科大上海研究院搭建半自動高低溫系統返回列表

        裝機產品:MPI TS2000-SE

        產品介紹:

        MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統,其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環境。

        特色功能(VCE):

        MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺發布新功能,側面帶有VCE,可完美解放您的雙手,實現精準定位,完成自動扎針,使測試過程更加方便快捷。

        產品概要:

        1、ShielDEnvironment

        MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境

        2、自動化晶圓裝載系統

        該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對自動程序進行預對準,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓,針對高低溫環境下可提高測試效率

        3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

        MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment,可大幅減少30%至50%的空氣消耗

        4、側視影像系統(VCE)

        借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全

        產品優勢:

        1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

        2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

        3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測

        4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

        5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

        6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

        7、支持飛安級低漏電值量測

        8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

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