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        案例

        首發|華科一次性購入三套系統,搭建頂級存儲器件測試平臺返回列表

        裝機產品:TS150、TS200-SE、TS3000-SE

        TS150

        產品介紹:

        TS150應用于測試半導體晶圓級、器件類電學特性,具備可以快速拖動樣品臺,更換樣品功能,并且有著獨特Platen平臺設計,測試重復性提高95%。MPI 全系列探針臺具備模塊化設計,可搭配不同變倍比顯微鏡,同時與德國ERS聯合開發設計具有氣冷溫控技術的Thermal Chuck同步使用。

        產品優勢:

        1、氣浮式樣品移動系統

        MPI獨特的氣墊載物臺設計,具有簡單的單手冰球控制,為操作人員提供了很強的便利性,可實現快速XY導航和快速晶圓裝載,同時又不影響精確的定位功能。

        2、高度調整比例

        探針臺工作臺面具有25毫米的精細高度調節,支持各種應用,獨特的1mm精確刻度可準確指示當前位置。

        3、多種卡盤選項

        手動系統可提供多種卡盤選項,以滿足不同的預算和應用需求。 

        4、多種光學系統選擇

        提供多種光學器件,可以在用于普通DC / CV應用的立體聲或用于射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進行選擇。

        5、屏蔽系統

        暗箱為超低噪聲直流測量提供EMI屏蔽和不透光的測試環境。

        6、多種光學系統選擇

        提供多種光學器件,可在普通DC / CV應用的立體聲或射頻配置的單管MPI SZ10或MZ12之間進行選擇。

        產品應用:

        適用于多種晶圓量測應用,如組件特性描述和建模,晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP)。

        TS200-SE

        產品介紹:

        MPI TS200-SE 8英寸探針臺可提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪聲,低泄漏測量功能。

        1、適用于多種晶圓量測應用,如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

        2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

        3、支援飛安級低漏電量量測

        4、溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

        產品優勢:

        1、ShielDEnvironment™

        MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的屏蔽系統,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

        2、ShielDCap™

        MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于多種搭配,在簡化日常操作方面發揮了重要作用;完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探針卡支架替換。

        3、空氣軸承

        MPI獨特的氣墊載物臺設計,具有簡單的單手冰球控制,為快速的XY導航和晶圓裝載提供了操作的便利性,同時又具有額外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯,不影響精確定位能力。 

        4、溫度控制集成

        晶圓裝載門可以在15°C以下的任何溫度下鎖定,此獨特功能使TS200-SE成為市場上安全的手動探針臺,此外,溫控系統可以通過集成式的觸摸屏來操作,該觸摸屏放置在操作員面前的便利位置,以實現快速的反饋。

        5、ERS獨特的AC3冷卻技術

        MPI旗下探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術及其空氣管理系統,可減少多達30%至50%的干燥空氣消耗。

        6、多種光學系統選擇

        MPI光學器件可以選擇單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10,高達12倍光學變焦的MegaZoom™MZ12或超過42毫米工作距離的EeyZoom™EZ10 ——其具有人體工程學20倍目鏡的10倍光學變焦系統,90mm工作距離和低至2um以下的光學分辨率。

        TS3000-SE

        產品介紹:

        TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發,該系統配備了MPI ShielDEnvironment™,可實現超低噪聲,滿足設備的需求表征,晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。

        產品優勢:

        1、適用于多種晶圓量測應用,支持2"、4"、6"、8"、12"等晶圓測試并兼容4×4mm碎片測試

        2、模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f,RTS

        3、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

        4、可靠性測試 - 精確的壓力測試

        5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

        6、專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境,以得到 1/f 超低噪測試結果

        7、支援 fA 級超低噪 IV 量測

        8、可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

        9、具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

        產品應用:

        適用于多種晶圓量測應用。

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